| HOYA CANDEO OPTRONICS的激光系统HSL-4000/5000系列产品是在全世界销售业绩达到2000余台的高信赖性修补用小型YAG激光系统。 利用HOYA光学技术上设计、制造的该系列产品拥有优秀的输出可变性及激光输出稳定性。 该产品可在液晶面板及半导体修补等超微精度微细加工中发挥其高加工稳定性。 且,各系列拥有6种不同型号来满足特定客户规格要求。 提供波长、******输出能量、******功率、振幅等与加工内容相符的产品。 提供日本、台湾、韩国、中国等国的快捷服务。 | 追求微细加工及高输出的大面积加工用激光 | 实现从0.5um～300um的半导体、PFD的金属薄膜的微小加工到彩色滤光片等大面积加工。
并且根据******50Hz的频率对应各种领域中的应用。根据波长吸收特点的加工适合性 | 波长 | 1064nm（IR） | 532nm（Green） | 355nm（UV） | 266（DUV） | 金属材料 | 铬（Cr） | 铬（Cr） | 铬（Cr） | 铬（Cr） | 铝（Al） | 铝（Al） | 铝（Al） | 铝（Al） | ITO | ITO | ITO | ITO | / | 铜（Cu） | / | / | / | 金（Au） | / | / | / | / | 钼（Mo） | 钼（Mo） | / | 钛（Ti） | / | / | 镍（Ni） | 镍（Ni） | / | / | / | 镍（Ni）-铬（Cr） | / | / | / | 钛（Ti）-钨（W） | / | / | 绝缘材料 | / | / | 硅氮化物 | 硅氮化物 | / | / | 聚酰亚胺 | 聚酰亚胺 | TFT | 线路连接 | 线路连接 | 线路连接 | 线路连接 | 彩色滤光片 | RGB | RGB | RGB | RGB | / | 彩色滤光片中异物 | 彩色滤光片中异物 | / | CF上保护膜 | CF上保护膜 | CF上保护膜 | CF上保护膜 | 半导体/FPD | 多晶硅 | 多晶硅 | / | / |
| | 加工例 | | | | | Cut前 | Cut后 | Cut前 | Cut后 | | | | | 加工前 | 加工后 | 加工后 | IC下层配线露出全景 | | | | | IC保护膜剥离全景 | 彩色滤光片加工 | 铬膜加工 | 刻度 |
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| 修补机及检查机等各种装置上安装的高信赖性产品 | | HSL-4000/5000系列产品从已往销售业绩中积累了丰富的技术经验，因此提供客户高信赖性产品来实现各种激光加工装置/检查机上的安装使用。 | 高抵抗振动激光发生器
机架采用高刚性材料。比以往提高2倍
XY动作中发挥高稳定性能 | 温度变化适应力强的激光发生器
双线性套筒式除振器构造减轻对光路的影响 | 高精度激光输出可变系统
降低机械机构无效动作
专用软件实现线性输出
| 高精度电动Slit
利用显示器画面上的电子线进行位置修正及范围确定，因而实现正确的激光照射。
降低机械机构无效动作，实现具有再现性的线性动作 | 图1、输出可变特性
 | 多功能控制箱
操作者操作必要的全部功能。
通过内存记忆4种加工条件 | 高稳定性的激光输出
激光电源中采用PFN方式
 | 保养性
更换灯源便利性
新设计Tiller采用[HSL-5000]，不用工具实现冷却水及过滤器的更换  |
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