实现出自高水准的涂布质量的成品率提高
① 完全的3D成直线
工件台个人差别以及料盘排列误差自动补偿。
设备排列的偏差tsukio完全补正。
② 班******±0.005mm的反复定位精度
③ 边缘查出机能[NEW]
支持多种多样的工件台形状。
④ 花样游泳速度®机能[NEW]搭载
强化与点胶机的联合。在更美丽的涂布顺利。
⑤ 涂布模式编辑软件MuCAD®V搭载
・ 刹那间执行品种转换。
・ 可以DXF/格伯数据的忙乱。
・ 拿错开排列、多几个,自动形成程序。
・ 自动形成晶圆上的芯片模式。
・ 涂布区域/涂布禁止区域的涂分伤容易。